EGURO開(kāi)發(fā)加工精度1.0μm以下的超高精度CNC車床
2008-11-11 14:27:11
日本EGURO(長(zhǎng)野縣岡谷市)開(kāi)發(fā)出加工精度極佳的CNC車床“100-Nano”,并在“第24屆日本國(guó)際機(jī)床展(JIMTOF2008)”(2008年10月30日~11月4日,東京有明國(guó)際會(huì)展中心)上展出(圖1、2)。加工精度在1.0μm以下。旨在以超精密旋削技術(shù)支援客戶開(kāi)拓新市場(chǎng)(圖3)。
夾持工件的主軸采用空氣靜壓軸承。X軸和Z軸分離,采用誤差不疊加的結(jié)構(gòu)。滑軌方面,左右各設(shè)置1條截面呈倒V字形突出的滑軌,提高了直進(jìn)性。在倒V字形的表面上熔射具有滑動(dòng)性的鉬形成皮膜,然后打磨加工。底座采用熱膨脹系數(shù)低、振動(dòng)衰減特性良好的人工花崗巖,提高了抗熱變動(dòng)和振動(dòng)性能。
藉此X軸的追蹤精度達(dá)到0.5μm,Z軸達(dá)到1.0μm,圓度達(dá)到0.05Mμm。
價(jià)格為1800萬(wàn)日元(不含稅)。