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美國(guó)光動(dòng)公司激光干涉儀用于大型龍門五軸數(shù)控機(jī)床的精度檢測(cè)
2011-12-28 17:23:43

MCV-2002 雙光束系統(tǒng)直線度測(cè)量實(shí)例

由于社會(huì)發(fā)展的需要,大型龍門五軸數(shù)控機(jī)床在我國(guó)大型機(jī)床制造商進(jìn)行了研發(fā)和生產(chǎn)。但對(duì)于大型龍門五軸數(shù)控機(jī)床,尤其是長(zhǎng)導(dǎo)軌的直線度和平行度精度的檢測(cè),傳統(tǒng)的激光測(cè)量?jī)x和幾何精度檢測(cè)的儀器及檢具已遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能適應(yīng)

機(jī)床的精度是否滿足設(shè)計(jì)和加工的要求?這是大型機(jī)床制造商和機(jī)床用戶都面臨的一個(gè)問(wèn)題。

對(duì)于大型龍門五軸數(shù)控機(jī)床長(zhǎng)導(dǎo)軌的直線度和平行度精度的檢測(cè),美國(guó)光動(dòng)公司OPTODYNE激光多普勒干涉儀具有保證檢測(cè)精度并且檢測(cè)方便,現(xiàn)介紹如下:

1. 長(zhǎng)行程導(dǎo)軌直線度校準(zhǔn)

1.1 問(wèn)題點(diǎn)

針對(duì)具較長(zhǎng)導(dǎo)軌的大型機(jī)器而言,同時(shí)調(diào)校導(dǎo)軌的垂直方向與水平方向就顯得非常重要。就垂直方向,可使用電子式水平儀來(lái)測(cè)量。而就水平方向,則可使用具電子式檢測(cè)器的調(diào)校激光。然而對(duì)于長(zhǎng)行程導(dǎo)軌而言,因?yàn)榭諝庋h(huán)(空氣紊流)及溫度梯度,激光束在長(zhǎng)行程時(shí)無(wú)法成直線。激光光的漂移與溫度梯度將在長(zhǎng)距離時(shí)產(chǎn)生較大的誤差。如圖一所示,側(cè)向位移”d”會(huì)與距離”L”及空氣紊流的強(qiáng)度成比例。舉例來(lái)說(shuō),距離9m的激光束可能會(huì)移動(dòng)超過(guò)0.5mm。

1.2 如何應(yīng)用LDDM來(lái)解決問(wèn)題

使用基于不同原理的雙光束LD DM來(lái)量測(cè)真直度,因此空氣循環(huán)將不會(huì)影響它。真直度可由總和沿著行程上的角度變化來(lái)測(cè)定。雙反射鏡的角度變化相當(dāng)于兩直線位移變化量除以兩反射鏡的分離量。如圖一所示,位移量”AC”減掉”BD”除以兩反射鏡的分離量為角度變化,此時(shí)應(yīng)注意由于光束的漂移,也會(huì)同時(shí)產(chǎn)生較大的側(cè)向位移。然而如圖一所示,位移量”AE”減掉位移量”BF”相當(dāng)小,因此光束的漂移并不會(huì)影響角度的量測(cè)與真直度的計(jì)算。

1.3 如何進(jìn)行

首先將L D D M 雙光束激光頭固定在長(zhǎng)行程導(dǎo)軌的一端,并將雙反射鏡固定在滑座上。調(diào)校激光束使其與滑軌平行,再將雙反射鏡固定在適當(dāng)位置,使返回的激光束能回到接收孔上。在筆記型計(jì)算機(jī)上激活W i n d o w s T M 軟件,并按下光動(dòng)公司的圖標(biāo), 此時(shí)屏幕上會(huì)顯示出主選單。按下”S t r a i g h t n e s sD i s p l a y”的按鍵,量測(cè)畫面上會(huì)顯示出位置與真直度的讀取值,而在右下角則會(huì)繪出已量測(cè)的真直度圖形。在設(shè)定畫面中輸入增量、偏移量、目標(biāo)位置及總行程值,再將雙反射鏡移 動(dòng)到起始位置,回到量測(cè)畫面,按下”s t a r t”按鍵,沿著導(dǎo)軌移動(dòng)雙反射鏡,位置會(huì)顯示在第一行的顯示列上,而真直度則會(huì)顯示在第二行的顯示列上,此時(shí)可以往前往后來(lái)移動(dòng)雙反射鏡,以調(diào)整導(dǎo)軌來(lái)減少非真直度。當(dāng)導(dǎo)軌調(diào)校完成后,可用真直度的軟件來(lái)搜集真直度的數(shù)據(jù)來(lái)當(dāng)作您的紀(jì)錄。

2. 導(dǎo)軌平行度調(diào)校

2.1 問(wèn)題點(diǎn)

對(duì)于準(zhǔn)確度高的機(jī)器,導(dǎo)軌間的相互平行顯得非常重要。不平行的導(dǎo)軌不僅會(huì)降低準(zhǔn)確度、產(chǎn)生應(yīng)力、不正常運(yùn)動(dòng)、黏滯滑動(dòng)及過(guò)度的磨耗。調(diào)校激光具有一個(gè)象限儀及五棱 鏡(光學(xué)方鏡)可以用來(lái)檢驗(yàn)兩導(dǎo)軌間的平行度,但空氣循環(huán)(空氣紊流)及溫度梯度會(huì)使激光束歪曲并減少量測(cè)準(zhǔn)確度。

2.2 如何應(yīng)用 LDDM 來(lái)解決問(wèn)題

真直度量測(cè)系應(yīng)用調(diào)校激光的激光束真直度來(lái)當(dāng)作參考。激光束在真空下為正確的直線,然而在工廠環(huán)境下,會(huì)因?yàn)榭諝庋h(huán)及溫度梯度,激光束將會(huì)扭曲而減少其真直度。

由定義可知,兩導(dǎo)軌間的平行度為其之間距離的變化量,如果距離為常數(shù),則兩導(dǎo)軌為正確的平行?;诖嗽?,雙光束 LDDM 激光系統(tǒng)可用來(lái)量測(cè)兩導(dǎo)軌間的距離變化量。激光位移量測(cè)的準(zhǔn)確度為 1PPM ,因此平行度量測(cè)可以非常準(zhǔn)確。

2.3 如何進(jìn)行

LDDM 雙光束激光系統(tǒng)獨(dú)特的特性可同時(shí)用來(lái)量測(cè)直線位移與角度位移,相較于一般激光干涉儀,卻只能在兩種不同架設(shè)下分別量測(cè)直線位移或角度位移。

首先將雙光束激光頭固定在靠近兩導(dǎo)軌的一端,并將 90 度折射鏡如圖一所示安裝在其它滑座上。安裝一個(gè)可同時(shí)兩滑座的機(jī)械裝置,此時(shí)調(diào)整激光頭、 90 度折射鏡及兩個(gè)反射鏡,使返回的光束可以進(jìn)入接收孔, 然后設(shè)定具WindowsTM 軟件的筆記型計(jì)算機(jī),按下光動(dòng)公司的圖標(biāo)及 "straightness " 的按鍵,畫面會(huì)出現(xiàn)其中一個(gè)反射鏡的位移位置及兩反射鏡間位移的變化,在設(shè)定畫面設(shè)定光束的分離量為 1 ,并檢查是否為動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)擷取。此時(shí)將滑座移動(dòng)到起始位置,重置讀取值并按下 "start" 按鍵,再使兩滑座連續(xù)的由起點(diǎn)位置移動(dòng)到終點(diǎn)位置,則直線的位置與兩導(dǎo)軌間的距離變化量會(huì)被測(cè)得并儲(chǔ)存。數(shù)據(jù)繪圖范例如圖一所示,當(dāng)調(diào)校好兩導(dǎo)軌后,可重復(fù)此步驟,直到達(dá)到所要求的平行度為止。

美國(guó)光動(dòng)Optodyne公司的產(chǎn)品是在激光多普勒干涉儀(LDDM)的專利技術(shù)發(fā)展起來(lái)的,將最新的激光技術(shù)與微電子、計(jì)算機(jī)、光電和外差技術(shù)結(jié)合起來(lái),方便應(yīng)用于機(jī)床直線度和平行度的檢測(cè),為機(jī)床制造業(yè)的大型機(jī)床的發(fā)展提供最新的機(jī)床檢測(cè)設(shè)備?!?/p>

MCV-5002 雙激光頭系統(tǒng)直線度測(cè)量

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