激光干涉儀，就是以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量方法。
激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種：
單頻激光干涉儀
雙頻激光干涉儀
進(jìn)口激光干涉儀的進(jìn)口源主要是美國(guó)，下面就介紹3家美國(guó)激光干涉儀的生產(chǎn)企業(yè)：
API激光干涉儀的特點(diǎn)：
1D激光主要可以測(cè)量定位誤差和重復(fù)定位精度
3D激光可以測(cè)量定位誤差、直線度誤差（雙向）
5D/6D激光可以測(cè)量定位誤差、直線度誤差（雙向）、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角
在選擇無(wú)線遙控傳感器的情況下，最長(zhǎng)的測(cè)量距離可到45米（80米可選）。
可測(cè)量速度、加速度、振動(dòng)等參數(shù)，并評(píng)估機(jī)床動(dòng)態(tài)特性。
設(shè)計(jì)緊湊、體積小，測(cè)量機(jī)床時(shí)不需三角架。集成干涉鏡與激光器于一體，簡(jiǎn)化了調(diào)整步驟，減少了調(diào)整時(shí)間
5D/6D激光干涉儀是API的專利產(chǎn)品，一次安裝能夠同時(shí)測(cè)量線性軸的六個(gè)誤差，包括1個(gè)位置度誤差、2個(gè)直線度誤差、3個(gè)角度誤差。在通常情況下需要數(shù)天時(shí)間進(jìn)行的測(cè)試，使用API激光干涉儀只需幾個(gè)小時(shí)即可完成，實(shí)際應(yīng)用結(jié)果表明，節(jié)省時(shí)間可達(dá)80%。該儀器體積小，重量輕，可以直接安裝到機(jī)床導(dǎo)軌上。
測(cè)量?jī)x配有自動(dòng)氣壓、環(huán)境溫度補(bǔ)償器，自動(dòng)校正環(huán)境變化對(duì)激光波長(zhǎng)及長(zhǎng)度測(cè)量的影響，測(cè)量?jī)x還配有專門設(shè)計(jì)的多重?cái)?shù)字濾波器，使由空氣波動(dòng)及溫度梯度引起的測(cè)量誤差降到最小。
Optodyne MCV-2002直線位移、角偏(俯仰角、偏擺角)、直線度(水平直線度、上下直線度)、平面度測(cè)量系統(tǒng)
針對(duì)CNC工具機(jī)、CMM (三次元量床)及其它精密量測(cè)機(jī)器及平臺(tái)校驗(yàn)。角度、真直度與平面度量測(cè)可以自動(dòng)連續(xù)量測(cè)。采用獨(dú)特的雙光束設(shè)計(jì)，提供快速量測(cè)機(jī)臺(tái)平面度及機(jī)器軸直線與角度誤差量測(cè)。
Optodyne公司之機(jī)器校驗(yàn)系統(tǒng)采用專利之Laser DooplerDisplacement Meter (LDDMTM)技術(shù)，整套系統(tǒng)非常簡(jiǎn)潔，提供簡(jiǎn)單方便的保管與運(yùn)輸方式。
簡(jiǎn)單的安裝程序可節(jié)省整體機(jī)器的校驗(yàn)時(shí)間，特別的是只需少量的投資，可進(jìn)行多軸量測(cè)，省時(shí)省錢。
MCV-2002 雙光束激光設(shè)計(jì)提供使用者簡(jiǎn)單、在單一儀器能簡(jiǎn)單操作直線和角度量測(cè)的能力，如同二個(gè)干涉儀一體，當(dāng)其中一道光束監(jiān)控角度資料時(shí)，另一道光束可監(jiān)控直線定位情形。使用WindowsTM軟件可于任何桌上型或筆記型計(jì)算機(jī)上執(zhí)行，操作接口十分友善，可擷取量測(cè)資料并分析資料，分析后的數(shù)據(jù)可由屏幕顯示或以表格或圖形打印出來(lái)。
ZYGO公司于2014年加入AMETEK（阿美特克）集團(tuán)，成為超精密技術(shù)分部的一員。AMETEK阿美特克是全球領(lǐng)先的電子儀器和電動(dòng)機(jī)制造商。ZYGO和AMETEK集團(tuán)下的子公司之間的合作和資源共享為客戶提供更好的服務(wù)。
為了更好的拓展和增強(qiáng)干涉儀的功能，ZYGO為用戶提供大量的干涉儀附件。包括：透射平面標(biāo)準(zhǔn)鏡，參考平面標(biāo)準(zhǔn)鏡，透射球面標(biāo)準(zhǔn)鏡，參考球面標(biāo)準(zhǔn)鏡，調(diào)整架，樣品固定夾具，曲率半徑測(cè)量附件等。眾多附件可以滿足客戶多種測(cè)量需要。
