1、DW292-300單晶硅塊切割多線鋸床
DW292-300是專門為半導(dǎo)體行業(yè)將直徑高達(dá)300mm的單晶硅塊切割成高質(zhì)量晶圓而設(shè)計(jì)的。
新開發(fā)的DW292-300能夠與漿料和金剛石線一起運(yùn)行，并具有提高晶片質(zhì)量的復(fù)雜功能，如翹曲和波紋度
更長的金屬絲網(wǎng)長度以及更高的金屬絲速度和金屬絲加速度能夠提高每臺(tái)機(jī)器和每年的吞吐量。由于移動(dòng)部件的慣性得到優(yōu)化，偏轉(zhuǎn)輥更少，走線路徑更短，因此可以使用非常薄的金剛石走線。
DW292-300由于其緊湊堅(jiān)固的礦物鑄造框架和剛性設(shè)計(jì)，對(duì)溫度波動(dòng)和振動(dòng)高度不敏感。
操作更安全、更容易、更快，這要?dú)w功于更高的過程自動(dòng)化和帶有基于對(duì)話框的生產(chǎn)助手的新的直觀HMI。
您的優(yōu)勢(shì)：
高品質(zhì)晶圓
吞吐量增加
堅(jiān)固耐用
更高的過程自動(dòng)化
操作簡(jiǎn)單安全
咨詢電話：135 2207 9385
技術(shù)參數(shù)：
腹板長度[mm] 660
工件最大尺寸[mm] B.2 305×650
線速[m/sec]漿料： 20/DW:35
線材加速度[m/s2]漿料：8（<3s）/DW:12（<3.5s）
最小導(dǎo)線直徑[μm] 60
最大鋼絲張力[N] 45
偏轉(zhuǎn)輥【個(gè)】 6
導(dǎo)絲輥【個(gè)】 3
切削液罐[l] 300
機(jī)器尺寸[L×W×H][mm] 3800×1380×2860
機(jī)器重量[kg] 10600
2、DW 291單晶硅和多晶硅磚切割多線鋸床
使用最細(xì)的導(dǎo)線實(shí)現(xiàn)最高吞吐量。
DW291是專門為將單晶硅和多晶硅磚切割成光伏行業(yè)的晶片而設(shè)計(jì)的。
新開發(fā)的DW291為最快的晶圓切割時(shí)間設(shè)定了行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。DW291提供了一系列全面的創(chuàng)新，以進(jìn)一步提高晶圓產(chǎn)量。
更長的金屬絲網(wǎng)長度以及更高的金屬絲速度和金屬絲加速度能夠提高每臺(tái)機(jī)器和每年的吞吐量。由于移動(dòng)部件的慣性優(yōu)化、較短的布線路徑和金剛石布線管理系統(tǒng)（DWMS），可以使用超薄金剛石布線。
DW291由于其緊湊堅(jiān)固的礦物鑄造框架和剛性設(shè)計(jì)，具有高度的抗溫度波動(dòng)和振動(dòng)性能。
操作更安全、更容易、更快，這要?dú)w功于更高的過程自動(dòng)化和帶有基于對(duì)話框的生產(chǎn)助手的新的直觀HMI。
您的優(yōu)勢(shì)：
吞吐量增加
細(xì)線能力
堅(jiān)固耐用
更高的過程自動(dòng)化
操作簡(jiǎn)單安全
鉆石線管理系統(tǒng)（DWMS）
經(jīng)過市場(chǎng)驗(yàn)證的DWMS產(chǎn)品提供了敏銳的技術(shù)和卓越的風(fēng)力特性，并在中國獲得專利（專利號(hào)：CN 1044114334B）。DWMS可實(shí)現(xiàn)更快的切割時(shí)間、更低的金剛石絲消耗和更低的斷絲率。
細(xì)線能力
40μm細(xì)金剛石線的使用已在生產(chǎn)中得到驗(yàn)證。這種非凡的能力顯著降低了切口損耗，并最大限度地減少了每公斤硅的晶片數(shù)量。所有相關(guān)機(jī)器部件的設(shè)計(jì)和改進(jìn)使其能夠更好地處理細(xì)導(dǎo)線并提高操作效率。
技術(shù)參數(shù)：
腹板長度[mm] 870
工件最大尺寸[mm] ￡166×860
線速[m/sec] 33
導(dǎo)線加速度[m/s2] 10（<3.5s）
最小導(dǎo)線直徑[μm] 50
最小晶圓厚度[μm] 100
導(dǎo)絲輥軸距[mm] 390
切削液罐[l] 490
機(jī)器尺寸[L×W×H] 3700×1200×2500[mm]
機(jī)器重量[kg] 7900
3、DW 288 S6硬脆材料用金剛石線鋸
DW 288 S6多線鋸設(shè)計(jì)用于在各種情況下切割硬質(zhì)和脆性材料。
DW 288 S6基于廣泛使用的DW 288產(chǎn)品家族。它已被用于6英寸工件，最大載荷可達(dá)650毫米。工件巖石技術(shù)與自適應(yīng)進(jìn)給相結(jié)合，確保了最高的晶圓質(zhì)量、最大的吞吐量和最低的自有成本。
無論是切片藍(lán)寶石、硅鋁、石英、鎂合金還是其他硬質(zhì)材料，DW 288 S6都在生產(chǎn)效率、耐磨性和質(zhì)量方面提供了明確的優(yōu)勢(shì)。相關(guān)應(yīng)用包括LED和智能照明、輔助和操作、消費(fèi)電子和航空航天。
DW 288 S6采用了一流的工件搖滾概念，以獲得出眾的效果。它提供了更高的靈活性，而且非常用戶友好。憑借其監(jiān)測(cè)和日志記錄功能，該設(shè)備已為In-dus-try 4.0做好準(zhǔn)備。
DW 288 S6的優(yōu)點(diǎn)
吞吐量增加
最高精度和質(zhì)量
堅(jiān)固耐用
自動(dòng)化程度更高
經(jīng)過市場(chǎng)驗(yàn)證的設(shè)計(jì)
基于對(duì)金剛石絲切片工藝的深入了解，領(lǐng)先的設(shè)備已升級(jí)至DW 288 S6。除了先進(jìn)的電子和機(jī)械系統(tǒng)設(shè)計(jì)外，該軟件還經(jīng)過升級(jí)，以確保最大限度的過程控制和現(xiàn)代化的制造能力。
技術(shù)參數(shù)：
腹板長度[mm] 650
工件的最大尺寸[mm] B.2 165×650
線速[m/s] 30（1800m/min）
導(dǎo)線加速度[m/s2] 10（<4s）
最小導(dǎo)線直徑[μm] 100
最大鋼絲張力[N] 45
擺動(dòng)原理工件擺動(dòng)
搖擺角[°] ±12
導(dǎo)絲輥軸距[mm] 390
切削液罐[l] 240
機(jī)器尺寸[L×W×H][mm]3700×1780×3010
機(jī)器重量[kg] 11500
4、DW 288 S4藍(lán)寶石和其他硬脆材料鋸床
藍(lán)寶石和其他硬脆材料的智能切片技術(shù)
基于廣泛采用和成功的DW 288產(chǎn)品系列
得益于復(fù)雜的工件擺動(dòng)，金剛石線鋸DW 288 S4在將半導(dǎo)體硅和藍(lán)寶石切片到晶圓中時(shí)達(dá)到了最高精度。我們?cè)敿?xì)的技術(shù)和工藝知識(shí)也可以轉(zhuǎn)化為電子、石英或其他硬脆材料。
可選的是經(jīng)過市場(chǎng)驗(yàn)證的金剛石線材管理系統(tǒng)（DWMS）或用于硬質(zhì)材料（如碳化硅）的漿料介質(zhì)模塊。
您的優(yōu)勢(shì)：
剛性和溫度優(yōu)化設(shè)計(jì)確保高產(chǎn)量
8英寸半導(dǎo)體和藍(lán)寶石行業(yè)同類最佳
適用于不同格式的多功能應(yīng)用程序
技術(shù)參數(shù)：
腹板長度[mm] 420
工件的最大尺寸[mm] ?206×420或210×420英制
線速[m/s] 25（1500m/min）
導(dǎo)線加速度[m/s2] 8（<4s）
最小導(dǎo)線直徑[μm] 100
最大鋼絲張力[N] 45
擺動(dòng)原理工件擺動(dòng)
搖擺角[°] ±12
導(dǎo)絲輥軸距[mm] 540
切削液罐[l] 240
機(jī)器尺寸[L×W×H][mm]3620×1780×3010
機(jī)器重量[kg] 10500
5、DS 261表面質(zhì)量最高的12英寸晶圓鋸床
DS261漿狀線鋸
漿料切片晶片的一流表面，以及最佳的翹曲和TTV值，使DS 261成為12英寸半導(dǎo)體行業(yè)的領(lǐng)先線鋸。
DS 261具有頂級(jí)的技術(shù)和質(zhì)量性能，在市場(chǎng)上得到了廣泛應(yīng)用。
好處：
快速高效的切割
最佳扭曲和TTV值
最佳納米拓?fù)渲?/span>
集成工件定向
廣泛的應(yīng)用-最大產(chǎn)量
除了硅，多功能DS 261還切割其他硬脆材料，如石英、陶瓷、藍(lán)寶石或砷化鎵等不同尺寸的材料。DS 261從制造到加工的高質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)保證了最大的產(chǎn)量和最佳的納米拓?fù)渲怠?/span>
技術(shù)參數(shù)：
腹板長度[mm] 410
工件的最大尺寸[mm]dst 305mm×400（應(yīng)要求為dst 18〃）
線速[m/s] 15（900m/min）
導(dǎo)線加速度[m/s2] 2.5（<6.5s）
最小導(dǎo)線直徑[μm] 120
最大鋼絲張力[N] 50
導(dǎo)絲輥軸線距離[mm] 600
切削液漿料
泥漿罐[l] 175
機(jī)器尺寸[L×W×H][mm] 2980×4120×3340
機(jī)器重量[kg] 12000
