實(shí)時自動增益調(diào)整 速度響應(yīng)頻率1000Hz的高性能伺服驅(qū)動器 先進(jìn)的振動抑制技術(shù),控制低剛性結(jié)構(gòu)的震動 位置指令脈沖最大頻率可達(dá)2Mpps 利用最新技術(shù),實(shí)現(xiàn)體積比以往產(chǎn)品減小75% 可通過串行外部光柵尺,對位置進(jìn)行全閉環(huán)控制 可使用專用控制臺進(jìn)行簡單維護(hù)