數(shù)控專用切槽磨床
數(shù)控專用切槽磨床是我公司為半導(dǎo)體石英制品行業(yè)開發(fā)的高精度,大、小規(guī)格專用溝槽磨床,該機(jī)床專門用來磨削半導(dǎo)體用石英舟的溝槽。
整機(jī)采用龍門框架式結(jié)構(gòu),兩立柱落地固定在床身兩側(cè),立柱由橫梁聯(lián)接,剛性高;工作臺(tái)沿床身導(dǎo)軌移動(dòng),通過龍門進(jìn)行磨削,精度高。配置FANUC Oi mate數(shù)控系統(tǒng),各坐標(biāo)軸由伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)。機(jī)床可實(shí)現(xiàn)X、Y、Z三軸聯(lián)動(dòng),并配置附加軸。TYM-1350型磨床B軸可擺動(dòng)15°(手動(dòng)),主軸體可沿C軸轉(zhuǎn)動(dòng)±90°(PLC軸)。TYM-1000型磨床B軸可擺動(dòng)7.5°(手動(dòng))。
◆主要特點(diǎn):
1、機(jī)床整體設(shè)計(jì)具有高剛性、高精度、高效率的特點(diǎn)。
2、各坐標(biāo)軸均采用高精度予負(fù)荷線性導(dǎo)軌和滾珠絲杠付傳動(dòng),運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)、剛性 好、精度高。
3、X軸配置光柵尺實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制,精度可達(dá)到±0.02毫米。
4、采用全封閉防護(hù),安全可靠,冷卻液不污染環(huán)境。
5、操作調(diào)整方便,造型美觀宜人。
數(shù)控專用切槽磨床主要技術(shù)參數(shù)
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項(xiàng)號(hào).
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項(xiàng)目 |
單位 |
TYM-1200 |
TYM-1350 |
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1
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X 軸行程
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mm
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1200
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1350
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2
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Y 軸行程
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mm
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300
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580
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3
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Z 軸行程
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mm
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300
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350
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4
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B 軸擺角
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± 7. 5 °(手動(dòng))
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1 5 °(手動(dòng))
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5
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A 軸轉(zhuǎn)角
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180 °(點(diǎn)動(dòng))
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6
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工作臺(tái)面積
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mm
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300 × 900
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500 × 1300
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7
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最小脈沖當(dāng)量
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mm
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0.001
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0.001
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8
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快移速度
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mm/min
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Max.6000
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Max.6000
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9
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磨頭轉(zhuǎn)速
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r.p.m
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2000-4500
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2000-4500
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10
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磨頭電機(jī)功率
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kw
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1.5
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3.7
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11
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C 軸電機(jī)
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Nm
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8
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12
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數(shù)控系統(tǒng)
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FANUC Oi MC
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FANUC Oi MC
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13
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X軸伺服電機(jī)
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Nm
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8
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22
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14
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Y軸伺服電機(jī)
|
Nm
|
8
|
22
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15
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Z軸伺服電機(jī)
|
Nm
|
8
|
22
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16
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機(jī)床凈重
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kg
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6500
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12000
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17
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機(jī)床外型尺寸
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mm
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2850 × 1380 × 2230
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4660 × 2760 × 3750
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