本機(jī)式專為光學(xué)膜壓印用輥輪的加工而設(shè)計。
可以車削超精密鏡面輥輪，和雕刻V溝、波浪溝、凸透鏡、微透鏡及客製化微結(jié)構(gòu)。
本機(jī)採用超精密氣靜壓主軸及無摩擦液靜壓滑道。
直接位置回饋系統(tǒng)，提供10奈米位置解析度。
選擇性配件有C軸、B軸、快刀伺服系統(tǒng)等，可以提供更高階應(yīng)用之能力。
產(chǎn)品規(guī)格
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Nano class control system
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Unit
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Spindle
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Type
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Motorized aerostatic spindle
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Speed
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RPM
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800
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X-axis
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Stroke
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mm
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100
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Straightness
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1um/full stoke
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Z-Axis
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Stroke
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mm
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2,000
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Straightness
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2um/1,000mm
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B-axis
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stroke
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mm
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600
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Max. drum roll size
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Diameter
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mm
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300
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Length
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mm
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1,900
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Weight
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kg
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500
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Machine size
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Dimension
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m
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L2.1 x W2.2 x H4.0
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weight
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kg
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12,000
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