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系統(tǒng) 分辨率 µm	精度 ±µm/測(cè)量長(zhǎng)度	柵距 µm	模擬量 輸出（Upp）	模擬量 輸出（Ipp）	數(shù)字量 輸出 （細(xì)分倍數(shù)）
參見(jiàn) *	±3, ±5, ±10	20	--	MSA 002.13	--
參見(jiàn) *	±2, ±3	10	--	MSA 002.11	--
1	±3, ±5	20	--	--	MSA 002.63 (5)
0,5	±3, ±5	20	--	--	MSA 002.73 (10)
0,25	±2, ±3, ±5	10	--	--	MSA 002.71 (10)
0,1	±2, ±3	10	--	--	MSA 002.51 (25)

測(cè)量長(zhǎng)度：             50 mm至520 mm
測(cè)量光柵： 玻璃光柵尺
參考點(diǎn)
位置： 標(biāo)準(zhǔn)：一個(gè)參考標(biāo)記位于測(cè)量長(zhǎng)度中間位置或距測(cè)量長(zhǎng)度的兩端35 mm
選裝：一個(gè)任意位置的參考點(diǎn)，或兩個(gè)甚至更多個(gè)相距n x 50 mm的參考點(diǎn)
模擬量輸出： 典型值：11.5 µApp
數(shù)字量輸出： 方波信號(hào)（信號(hào)端）
內(nèi)置細(xì)分電子電路
方波信號(hào)（差分），采用RS 422標(biāo)準(zhǔn)直線驅(qū)動(dòng)
內(nèi)置細(xì)分電子電路