激光干涉儀主要特色與效益
1.品質管制維護
2.系統(tǒng)結構簡單、重量輕
3.自動數(shù)據(jù)采集
4.激光準確度經(jīng)由 NIST認證
5.毋須三腳架及干涉鏡
6.WindowsTM軟件
7.RS-232接口
8.自動環(huán)境補償
9.支持NMTBA、、ISO及 ASME B5.54標準
主要應用
1.品質管制維護
2.超精密定位
3.CNC機床、CMM、導螺桿及 DRO直線校驗 激光干涉儀的技術參數(shù): 最大量程 100000mm 準確度 1μm/M ; 分辨率 0.01μm 最高工作速度 2400M/min