特 點
片盒到片盒的全自動工作方式
工藝工步：送片盒→涂膠顯影→熱板烘烤→收片盒
托盤傳送方式，無污染、安全可靠
液晶顯示界面，具有編程、運行、服務(wù)等功能
具有完善的故障診斷和自診斷功能
PWM伺服調(diào)速系統(tǒng)調(diào)速，轉(zhuǎn)速范圍寬，加速度高
顯影時間可控、壓力可調(diào)、滴膠量可控
有防碎片措施、真空輔助熱板烘烤
具有邊緣去膠和硅片背面清洗功能（可選件）
具有顯影時防漏滴設(shè)計，徹底消除防漏
具有清洗、吹氮等功能（可選件）
