特征：
懸浮式旋轉(zhuǎn)臺(tái)，無(wú)磨耗 結(jié)構(gòu)小，高度低 步進(jìn)技術(shù)，2相電源 適用于真空環(huán)境 應(yīng)用：
半導(dǎo)體業(yè) AOI設(shè)備 WAFER檢測(cè)分度
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