超精密加工機(jī)器,比如單點(diǎn)金剛石車床,使得對(duì)公差要求極小的非球面鏡頭的加工成為可能,波前相差也降低到微不足道的數(shù)值。
為了獲得這種高水平的精度,必須有相應(yīng)水準(zhǔn)的計(jì)量。Form Talysurf PGI 840具有所需要的各種功能,該測(cè)量系統(tǒng)的測(cè)量結(jié)果可直接輸入到機(jī)床中,進(jìn)而形成"反饋循環(huán)"??蓱?yīng)用戶所需而設(shè)計(jì)特殊測(cè)針使得PGI 840的應(yīng)用范圍更為廣大。