中圖儀器SJ6000激光干涉儀可對機床、三測機及各種定位裝置進行高精度的（位置和幾何）精度校正，并可完成按標準測量各項參數(shù)，如線形位置精度、重復(fù)定位精度、角度、直線度、垂直度、平面度及平行度等。另外，它還具有若干為機床廠商和用戶所歡迎的選擇功能，如自動螺距誤差補償（適用大多數(shù)控系統(tǒng)），機床動態(tài)特性測量與評估，回轉(zhuǎn)坐標分度精度標定，觸發(fā)脈沖輸入、輸出功能等。
中圖儀器SJ6000激光干涉儀性能特點：
1.測量精度高、速度快，穩(wěn)定性好
①使用美國高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)
②以光波長(633nm)為測量單位，分辨率可達nm級
③使用高速光電信號采樣和處理技術(shù)，測量速度可達到4m/s。
④配合有環(huán)境補償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度
⑤分離式干涉鏡設(shè)計，避免了測量鏡組由于主機發(fā)熱而引起的鏡組形變
2. 應(yīng)用范圍廣
①可以實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測
②結(jié)合我們的軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動分析以及穩(wěn)定度等分析
③可實時監(jiān)控精密加工機床等機器的動態(tài)數(shù)據(jù)，進行動態(tài)特性分析
3.軟件界面友好
①使用當前熱門的軟件界面開發(fā)工具，軟件界面人性化，操作簡單。
②將靜態(tài)測量和動態(tài)測量兩種功能合并到一個軟件中，更方便用戶切換測量類型。
③向?qū)讲僮?，流程清晰，更符合國?nèi)用戶的使用習慣。
4 性價比高
性能達到了國外儀器的水準，價格是國內(nèi)儀器的良心價。
中圖儀器SJ6000激光干涉儀技術(shù)參數(shù)：
系統(tǒng)性能
測量方式：單頻
穩(wěn)頻精度：0.05ppm
動態(tài)采集頻率：50 kHz
環(huán)境溫度范圍：0~38℃，環(huán)境濕度：0~95%
存儲溫度范圍：-20℃~70℃
環(huán)境補償示值誤差
空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)
大氣壓力傳感器：±0.1kPa
線性測量
測量距離：0-40m
測量精度：0.5ppm (0-38℃)
測量分辨率：1nm
測量最大速度：4m/s
中圖儀器SJ6000激光干涉儀配置：
|
序號 |
名稱 |
明細 |
備注 |
|
1 |
SJ6000主機 |
1臺，配云臺 |
標配 |
|
2 |
環(huán)境補償單元 |
1套，配1個空氣溫度探頭和3個材料溫度探頭 |
標配 |
|
3 |
筆記本電腦 |
1臺，配測量軟件 |
標配 |
|
4 |
便攜式拉桿箱 |
1個，尺寸：560mm×460mm×270mm |
標配 |
|
5 |
通用三腳架 |
1個 |
標配 |
|
6 |
線性鏡組 |
線性干涉鏡、線性反射鏡，各1個 |
標配 |
|
7 |
鏡組安裝配件 |
磁性座2個 |
標配 |
|
安裝柱4節(jié) |
|||
|
輔助安裝塊2塊 |
|||
|
夾緊塊2個(帶鎖緊螺絲) |
|||
|
測頭夾具1個(內(nèi)徑：φ32mm) |
選配 |
||
|
8 |
輕型線性附件 |
小角錐反射鏡、縮光鏡，各1個 |
選配 |
|
9 |
遠距離線性附件 |
大角錐反射鏡、遠距離分光鏡，各1個 |
選配 |
|
10 |
可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡 |
可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡1個 |
選配 |
|
11 |
角度鏡組 |
角度干涉鏡、角度反射鏡，各1個 |
選配 |
|
12 |
平面度鏡組 |
平面度鏡組需要與角度鏡組組合使用 |
選配 |
|
平面度反射鏡2個 |
|||
|
180mm可調(diào)基板、360mm可調(diào)基板，各1個 |
|||
|
13 |
直線度鏡組 |
直線度干涉鏡、直線度反射鏡，各1個 |
選配 |
|
直線度附件1套 |
|||
|
14 |
垂直度鏡組 |
垂直度鏡組需要與直線度鏡組組合使用 |
選配 |
|
光學(xué)直角尺、垂直度安裝三腳架，各1個 |
|||
|
15 |
高精密轉(zhuǎn)臺 |
鋰電池供電，藍牙傳輸 |
選配 |
|
16 |
工作服 |
夏、冬實驗室工作服各1件 |
選配 |
