中圖儀器SJ6000激光干涉儀可對(duì)機(jī)床、三測(cè)機(jī)及各種定位裝置進(jìn)行高精度的（位置和幾何）精度校正，并可完成按標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量各項(xiàng)參數(shù)，如線形位置精度、重復(fù)定位精度、角度、直線度、垂直度、平面度及平行度等。另外，它還具有若干為機(jī)床廠商和用戶所歡迎的選擇功能，如自動(dòng)螺距誤差補(bǔ)償（適用大多數(shù)控系統(tǒng)），機(jī)床動(dòng)態(tài)特性測(cè)量與評(píng)估，回轉(zhuǎn)坐標(biāo)分度精度標(biāo)定，觸發(fā)脈沖輸入、輸出功能等。
中圖儀器SJ6000激光干涉儀性能特點(diǎn)：
1.測(cè)量精度高、速度快，穩(wěn)定性好
①使用美國(guó)高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達(dá)到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)
②以光波長(zhǎng)(633nm)為測(cè)量單位，分辨率可達(dá)nm級(jí)
③使用高速光電信號(hào)采樣和處理技術(shù)，測(cè)量速度可達(dá)到4m/s。
④配合有環(huán)境補(bǔ)償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測(cè)量精度
⑤分離式干涉鏡設(shè)計(jì)，避免了測(cè)量鏡組由于主機(jī)發(fā)熱而引起的鏡組形變
2. 應(yīng)用范圍廣
①可以實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測(cè)
②結(jié)合我們的軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動(dòng)分析以及穩(wěn)定度等分析
③可實(shí)時(shí)監(jiān)控精密加工機(jī)床等機(jī)器的動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)，進(jìn)行動(dòng)態(tài)特性分析
3.軟件界面友好
①使用當(dāng)前熱門的軟件界面開發(fā)工具，軟件界面人性化，操作簡(jiǎn)單。
②將靜態(tài)測(cè)量和動(dòng)態(tài)測(cè)量?jī)煞N功能合并到一個(gè)軟件中，更方便用戶切換測(cè)量類型。
③向?qū)讲僮?，流程清晰，更符合?guó)內(nèi)用戶的使用習(xí)慣。
4 性價(jià)比高
性能達(dá)到了國(guó)外儀器的水準(zhǔn)，價(jià)格是國(guó)內(nèi)儀器的良心價(jià)。
中圖儀器SJ6000激光干涉儀技術(shù)參數(shù)：
系統(tǒng)性能
測(cè)量方式：?jiǎn)晤l
穩(wěn)頻精度：0.05ppm
動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz
環(huán)境溫度范圍：0~38℃，環(huán)境濕度：0~95%
存儲(chǔ)溫度范圍：-20℃~70℃
環(huán)境補(bǔ)償示值誤差
空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)
大氣壓力傳感器：±0.1kPa
線性測(cè)量
測(cè)量距離：0-40m
測(cè)量精度：0.5ppm (0-38℃)
測(cè)量分辨率：1nm
測(cè)量最大速度：4m/s
中圖儀器SJ6000激光干涉儀配置：
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序號(hào) |
名稱 |
明細(xì) |
備注 |
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1 |
SJ6000主機(jī) |
1臺(tái)，配云臺(tái) |
標(biāo)配 |
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2 |
環(huán)境補(bǔ)償單元 |
1套，配1個(gè)空氣溫度探頭和3個(gè)材料溫度探頭 |
標(biāo)配 |
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3 |
筆記本電腦 |
1臺(tái)，配測(cè)量軟件 |
標(biāo)配 |
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4 |
便攜式拉桿箱 |
1個(gè)，尺寸：560mm×460mm×270mm |
標(biāo)配 |
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5 |
通用三腳架 |
1個(gè) |
標(biāo)配 |
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6 |
線性鏡組 |
線性干涉鏡、線性反射鏡，各1個(gè) |
標(biāo)配 |
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7 |
鏡組安裝配件 |
磁性座2個(gè) |
標(biāo)配 |
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安裝柱4節(jié) |
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輔助安裝塊2塊 |
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夾緊塊2個(gè)(帶鎖緊螺絲) |
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測(cè)頭夾具1個(gè)(內(nèi)徑：φ32mm) |
選配 |
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8 |
輕型線性附件 |
小角錐反射鏡、縮光鏡，各1個(gè) |
選配 |
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9 |
遠(yuǎn)距離線性附件 |
大角錐反射鏡、遠(yuǎn)距離分光鏡，各1個(gè) |
選配 |
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10 |
可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡 |
可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡1個(gè) |
選配 |
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11 |
角度鏡組 |
角度干涉鏡、角度反射鏡，各1個(gè) |
選配 |
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12 |
平面度鏡組 |
平面度鏡組需要與角度鏡組組合使用 |
選配 |
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平面度反射鏡2個(gè) |
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180mm可調(diào)基板、360mm可調(diào)基板，各1個(gè) |
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13 |
直線度鏡組 |
直線度干涉鏡、直線度反射鏡，各1個(gè) |
選配 |
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直線度附件1套 |
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14 |
垂直度鏡組 |
垂直度鏡組需要與直線度鏡組組合使用 |
選配 |
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光學(xué)直角尺、垂直度安裝三腳架，各1個(gè) |
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15 |
高精密轉(zhuǎn)臺(tái) |
鋰電池供電，藍(lán)牙傳輸 |
選配 |
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16 |
工作服 |
夏、冬實(shí)驗(yàn)室工作服各1件 |
選配 |
