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一、東莞金研精密四工位CMP拋光機(jī)KD36QS4產(chǎn)品特點(diǎn)

1、東莞金研精密四工位CMP拋光機(jī)KD36QS4配置伺服修盤系統(tǒng)，確保磨盤足夠的平坦度。

2、東莞金研精密四工位CMP拋光機(jī)KD36QS4采用磨盤在線檢測恒溫系統(tǒng)，防止工件變形及脫片。

3、東莞金研精密四工位CMP拋光機(jī)KD36QS4采用多段貨柔性加壓系統(tǒng)，滿足復(fù)雜的加工工藝要求。

4、東莞金研精密四工位CMP拋光機(jī)KD36QS4配置數(shù)字化加液系統(tǒng)，減少磨液損耗。

5、東莞金研精密四工位CMP拋光機(jī)KD36QS4采用四工位獨(dú)立變速控制系統(tǒng)。

二、東莞金研精密四工位CMP拋光機(jī)KD36QS4應(yīng)用領(lǐng)域

東莞金研精密四工位CMP拋光機(jī)KD36QS4主要應(yīng)用于半導(dǎo)體材料、精密光學(xué)、晶體材料等研磨加工。

1、半導(dǎo)體材料包括Si、Ge、GaAs、藍(lán)寶石、SiC、InP、GaN、MEMS、陶瓷基板等。

2、精密光學(xué)包括光學(xué)晶體、光學(xué)鏡頭、玻璃基板、ITO玻璃、藍(lán)寶石玻璃、濾波材料等。

3、晶體材料包括鈮酸鋰、鉭酸鋰、YAG、石英、紅外材料等。

三、東莞金研精密四工位CMP拋光機(jī)KD36QS4技術(shù)參數(shù)