基礎技術參數(shù):
型 號: FUNCTION 564
n 行 程: X軸 500 mm
Y軸 600 mm
Z軸 400 mm
¯ 結構型式:活動橋式
¯ 傳動方式:直流伺服系統(tǒng) + 預載荷高精度空氣軸承
¯ 長度測量系統(tǒng):RENISHAW開放式光柵尺,分辨率為0.5μm
¯ 機 臺:高精度花崗巖平臺
¯ 使用環(huán)境:溫度(20±2)℃,濕度55%-65% ,溫度梯度1℃/m,溫度變化 1℃/h
¯ 空氣壓力:0.4 MPa - 0.5 Mpa
¯ 空氣流量:120 L/min – 140 L/min
¯ 整機尺寸(LWH):1.4 m X 1.6 m X 2.4m
¯ 機臺承重:550 kg ,整機重量:850 Kg
空間測量精度:(2.8+L/300)μm