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實(shí)現(xiàn)工作臺(tái)最小驅(qū)動(dòng)10納米
通過(guò)采用本社制造的陶瓷制空氣滑塊和直線電機(jī)，世界首次搭載了完全非接觸XY直交工作臺(tái)。并通過(guò)搭配使用高分解能光柵尺，實(shí)現(xiàn)工作臺(tái)最小驅(qū)動(dòng)單位10納米。

標(biāo)準(zhǔn)搭載高性能加工液冷卻裝置
通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)搭載高性能加工液冷卻裝置，維持穩(wěn)定的超精密加工。

主要構(gòu)造采用陶瓷
由于采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)方式，無(wú)需使用滾珠絲杠，避免了傳送機(jī)構(gòu)部件產(chǎn)生扭曲或磨損。此外，通過(guò)在主要構(gòu)造材料中采用陶瓷材質(zhì)，保證了長(zhǎng)期穩(wěn)定的高精度。